เมทอกซีโพรพานอลและเอทิลีนไกลคอลอีเทอร์เป็นของตัวทำละลายอีเทอร์แอลกอฮอล์แบบไบนารีซึ่งเป็นของเหลวไม่มีสีและโปร่งใส ความเป็นพิษของโพรพิลีนไกลคอลอีเทอร์ต่อร่างกายมนุษย์ต่ำกว่าผลิตภัณฑ์เอทิลีนไกลคอลอีเทอร์ และเป็นของอีเทอร์ที่เป็นพิษต่ำ โพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์มีกลิ่นอีเทอร์จางๆ แต่ไม่มีกลิ่นฉุนรุนแรง ทำให้มีการใช้กันอย่างแพร่หลายและปลอดภัยมากขึ้น เนื่องจากโครงสร้างโมเลกุลมีทั้งหมู่อีเทอร์และหมู่ไฮดรอกซิล จึงมีความสามารถในการละลายได้ดีเยี่ยม อัตราการระเหยและกิจกรรมปฏิกิริยาที่เหมาะสม และมีการใช้กันอย่างแพร่หลาย ส่วนใหญ่จะใช้เป็นตัวทำละลายที่ดีเยี่ยมสำหรับไนโตรเซลลูโลส อัลคิดเรซิน และเรซินฟีนอลดัดแปลงมาลิกแอนไฮไดรด์ เป็นสารป้องกันการแข็งตัวสำหรับเชื้อเพลิงเครื่องบินและสารเติมแต่งสำหรับน้ำมันเบรก ส่วนใหญ่จะใช้เป็นตัวทำละลาย สารช่วยกระจายตัว และสารเจือจาง และยังใช้เป็นสารป้องกันการแข็งตัวและสารสกัดเชื้อเพลิงอีกด้วย
|
สูตรเคมี |
C4H10O2 |
|
มวลที่แน่นอน |
90 |
|
น้ำหนักโมเลกุล |
90 |
|
m/z |
90 (100.0%), 91 (4.3%) |
|
การวิเคราะห์องค์ประกอบ |
C, 53.31; H, 11.18; O, 35.51 |
|
|
|
วิธีการเตรียมของเมทอกซีโพรพานอล(โดยปกติจะเรียกอย่างถูกต้องกว่าว่าโพรพิลีนไกลคอลโมโนเมทิลอีเทอร์) มีคำอธิบายดังนี้:
(1) การเตรียมวัตถุดิบ:
รับอีพิคลอโรไฮดรินและเมทานอลเป็นสารตั้งต้น
เตรียมตัวเร่งปฏิกิริยาซึ่งเป็นดินเบาที่ฝังอยู่กับเฟอร์ริกคลอไรด์ ในหมู่พวกเขาน้ำหนักของเฟอร์ริกคลอไรด์คือ 2% ของน้ำหนักของอีพิคลอโรไฮดริน
(2) การตั้งค่าอุปกรณ์:
เลือกภาชนะที่เหมาะสมสำหรับ-ปฏิกิริยาแรงดันสูงและอุณหภูมิสูง- เช่น เครื่องปฏิกรณ์แรงดันสูง-
ตั้งค่าระบบควบคุมอุณหภูมิและความดันสำหรับถังปฏิกิริยาเพื่อให้แน่ใจว่าควบคุมอุณหภูมิและความดันของปฏิกิริยาได้อย่างแม่นยำ
(1) การผสมวัตถุดิบ:
ผสมอีพอกซีโพรเพนและเมทานอลเท่าๆ กันในอัตราส่วนโมล 1:3
(2) เพิ่มตัวเร่งปฏิกิริยา:
เติมตัวเร่งปฏิกิริยาดินเบาที่เตรียมไว้ซึ่งฝังอยู่กับเฟอร์ริกคลอไรด์ลงในส่วนผสมของปฏิกิริยา
(3) ปฏิกิริยาความร้อน:
อุ่นส่วนผสมปฏิกิริยาที่ 190 องศา
รักษาความดันปฏิกิริยาไว้ที่ 1.5 MPa (หรือ 1500 kPa)
เวลาตอบสนองคือ 50 นาที
การกลั่นแบบสุญญากาศ: หลังจากปฏิกิริยาเสร็จสิ้น ส่วนผสมของปฏิกิริยาจะถูกนำไปกลั่นแบบสุญญากาศเพื่อแยกโพรพิลีนไกลคอลโมโนเมทิลอีเทอร์
การกลั่นด้วยแรงดันที่ลดลงจะช่วยลดอุณหภูมิในการกลั่น ซึ่งช่วยลดการสลายตัวของผลิตภัณฑ์ที่ไวต่อความร้อน
(1) การกำหนดผลผลิต: ผลผลิตของโพรพิลีนไกลคอลโมโนเมทิลอีเทอร์ถูกกำหนดโดยการชั่งน้ำหนักหรือวิธีการอื่นที่เหมาะสม และผลผลิตคือ 98.2%
(2) การทดสอบความบริสุทธิ์: ใช้โครมาโตกราฟีหรือเทคนิคการวิเคราะห์อื่น ๆ เพื่อทดสอบความบริสุทธิ์ของผลิตภัณฑ์ และได้รับความบริสุทธิ์ 99.1%
การประยุกต์ใช้เมทอกซีโพรพานอล(หรือเรียกอีกอย่างว่า 1-methoxy-2-propanol หรือเรียกโดยย่อว่า PGME) ในสารกึ่งตัวนำแบบโฟโตรีซิสต์เป็นสาขาที่สำคัญและเชี่ยวชาญเฉพาะในการใช้งานหลายอย่าง โฟโตรีซิสต์เป็นวัสดุที่ขาดไม่ได้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งส่วนใหญ่ใช้สำหรับการผลิตชิ้นส่วนขนาดเล็กของวงจรรวมและอุปกรณ์แยกเซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ยังมีการใช้งานที่หลากหลายในกระบวนการผลิตจอแบน, LED, ฟลิปฟล็อป, หัวแม่เหล็ก และเซ็นเซอร์ที่มีความแม่นยำ โพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์ซึ่งเป็นส่วนประกอบตัวทำละลายที่สำคัญของโฟโตรีซิสต์ มีบทบาทสำคัญในประสิทธิภาพและกระบวนการผลิตของโฟโตรีซิสต์
โฟโตรีซิสต์หรือที่รู้จักกันในชื่อโฟโตรีซิสต์ประกอบด้วยส่วนประกอบหลักและตัวทำละลาย ตัวทำละลายหลักที่ใช้ในปัจจุบันสำหรับสารไวแสงคือ propylene glycol methyl ether acetate (PMA) แต่โพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์ (PGME) ยังใช้เป็นตัวทำละลายหรือตัวทำละลายเสริมในสูตรสารไวแสงบางชนิดอีกด้วย ส่วนประกอบหลักของโฟโตรีซิสต์ ได้แก่ เรซิน โมโนเมอร์ ตัวเร่งปฏิกิริยาด้วยแสง และสารเติมแต่ง ในหมู่พวกเขา ปริมาณเรซินคิดเป็นประมาณ 50% ถึง 60% ของส่วนประกอบหลัก และปริมาณโมโนเมอร์มีสัดส่วนประมาณ 35% ถึง 45% หลักการของสารต้านทานแสงคือการใช้แหล่งกำเนิดแสง เช่น แสงอัลตราไวโอเลต เลเซอร์เอ็กไซเมอร์ ลำแสงอิเล็กตรอน ลำแสงไอออน รังสีเอกซ์- ฯลฯ เพื่อฉายรังสีหรือแผ่รังสี ทำให้เกิดการเปลี่ยนแปลงในความสามารถในการละลาย ซึ่งทำให้เกิดรูปแบบที่ต้องการบนแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน
2. บทบาทของโพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเธอร์ในสารเรืองแสง
(1) การกระทำของตัวทำละลาย:
โพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์ส่วนใหญ่จะใช้เป็นตัวทำละลายในสารไวแสง สามารถละลายสารไวแสงที่เป็นของแข็งและสารเติมแต่งเพื่อสร้างเป็นส่วนผสมของเหลว ซึ่งช่วยให้มั่นใจได้ว่าสารต้านทานแสงจะไหลได้ดี ความลื่นไหลนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการเคลือบโฟโตรีซิสต์บนพื้นผิวเวเฟอร์อย่างสม่ำเสมอด้วยเทคโนโลยีการเคลือบแบบหมุน
(2) การปรับความหนืด:
การเติมโพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์สามารถปรับความหนืดของโฟโตรีซิสต์ได้ ทำให้เหมาะสมกับกระบวนการเคลือบเฉพาะมากขึ้น การปรับความหนืดอย่างเหมาะสมช่วยให้มั่นใจได้ถึงการกระจายตัวของสารต้านทานแสงที่สม่ำเสมอในระหว่างกระบวนการเคลือบ หลีกเลี่ยงการเกิดฟองอากาศและข้อบกพร่อง
(3) การปรับปรุงประสิทธิภาพการเคลือบ:
โพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์มีความผันผวนปานกลางและสามารถระเหยได้อย่างรวดเร็วในระหว่างกระบวนการเคลือบ ทำให้ฟิล์มไวแสงมีความหนาแน่นสม่ำเสมอและสม่ำเสมอ ซึ่งจะช่วยปรับปรุงการยึดเกาะและความต้านทานการกัดกร่อนของโฟโตรีซิสต์
(4) อิทธิพลต่อเอฟเฟกต์การพิมพ์หิน:
คุณสมบัติทางกายภาพและเคมีบางประการของโพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์ เช่น จุดเดือด ความสามารถในการละลาย และแรงตึงผิว อาจมีผลกระทบบางอย่างต่อผลการพิมพ์หินของโฟโตรีซิสต์ ตัวอย่างเช่น จุดเดือดที่เหมาะสมสามารถรับประกันได้ว่าตัวต้านทานแสงจะไม่ทำให้รูปแบบผิดรูปในระหว่างการสัมผัสเนื่องจากการระเหยของตัวทำละลายอย่างรวดเร็ว
3. การใช้งานเฉพาะของโพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเธอร์ในสารกึ่งตัวนำแสง
(1) ช่างภาพคุณภาพสูง:
ในสารต้านทานแสงระดับสูง- อาจใช้โพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์เป็นตัวทำละลายหรือสารเติมแต่งเสริม โดยทั่วไปแล้ว โฟโตรีซิสต์เหล่านี้จะใช้ในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีการบูรณาการที่สูงขึ้นและมีโครงสร้างที่ซับซ้อนมากขึ้น การเติมโพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์สามารถปรับปรุงประสิทธิภาพการเคลือบและผลกระทบการพิมพ์หินของโฟโตรีซิสต์ ซึ่งจะเป็นการเพิ่มผลผลิตและประสิทธิภาพของอุปกรณ์
(2) ตัวต้านทานแสง ArF:
โฟโตรีซิสต์ ArF เป็นหนึ่งในวัสดุหลักที่ใช้ในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีโหนดกระบวนการขนาด 7 นาโนเมตรหรือต่ำกว่า
โพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์อาจใช้เป็นตัวทำละลายหรือสารเติมแต่งในสารต้านทานแสง ArF เพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพการเคลือบและเอฟเฟกต์การพิมพ์หิน โฟโตรีซิสต์ ArF มีความต้องการตัวทำละลายที่สูงมาก และคุณสมบัติบางอย่างของโพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสม
(3) โฟโตรีซิสต์ประเภทอื่น:
นอกเหนือจากสารต้านทานแสง ArF แล้ว ยังอาจใช้โพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์ในสารต้านทานแสงประเภทอื่นๆ เช่น สารต้านทานแสง KrF, สารต้านทานแสงแบบเส้น i- เป็นต้น สารต้านทานแสงเหล่านี้มีช่วงการใช้งานและข้อกำหนดกระบวนการที่แตกต่างกันในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การเติมโพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์สามารถปรับประสิทธิภาพและผลการเคลือบของโฟโตรีซิสได้ตามความต้องการเฉพาะ
4. อิทธิพลของโพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเธอร์ต่อกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
(1) การปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต:
การเติมโพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์สามารถปรับปรุงประสิทธิภาพการเคลือบและผลกระทบการพิมพ์หินของโฟโตรีซิสต์ ซึ่งจะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบที่สม่ำเสมอและรูปแบบการพิมพ์หินที่ชัดเจนช่วยลดข้อบกพร่องและอัตราการทำงานซ้ำ ส่งผลให้วงจรการผลิตสั้นลง
(2) ลดต้นทุนการผลิต:
ด้วยการเพิ่มประสิทธิภาพการกำหนดสูตรและกระบวนการเคลือบของโฟโตรีซิสต์ จึงสามารถลดต้นทุนการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ เนื่องจากเป็นหนึ่งในองค์ประกอบที่สำคัญของสารต้านทานแสง การใช้โพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์อย่างสมเหตุสมผลสามารถลดของเสียและการสูญเสียที่ไม่จำเป็นได้ จึงช่วยลดต้นทุนการผลิตได้
(3) การปรับปรุงประสิทธิภาพของอุปกรณ์:
การปรับปรุงประสิทธิภาพของโฟโตรีซิสโดยโพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการทำงานของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ตัวอย่างเช่น การเคลือบที่สม่ำเสมอมากขึ้นและรูปแบบการพิมพ์หินที่ชัดเจนยิ่งขึ้นสามารถลดพารามิเตอร์ปรสิต เช่น ความต้านทานและความจุของอุปกรณ์ และปรับปรุงประสิทธิภาพ เช่น ความเร็วและการใช้พลังงาน
(4) การส่งเสริมการยกระดับเทคโนโลยี:
ด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์อย่างต่อเนื่อง ความต้องการโฟโตรีซิสต์ก็เพิ่มขึ้นเช่นกัน การแนะนำตัวทำละลายและสารเติมแต่งใหม่ๆ เช่น โพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์สามารถส่งเสริมการอัพเกรดและความก้าวหน้าของเทคโนโลยีโฟโตรีซิสต์ ซึ่งนำนวัตกรรมและโอกาสในการพัฒนามาสู่สาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มากขึ้น
เมทอกซีโพรพานอลเนื่องจากเป็นหนึ่งในองค์ประกอบที่สำคัญของสารต้านทานแสงแบบเซมิคอนดักเตอร์ จึงมีแนวโน้มการใช้งานที่กว้างขวางและข้อได้เปรียบในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยการเพิ่มประสิทธิภาพการกำหนดสูตรและกระบวนการเคลือบของโฟโตรีซิสต์ ทำให้สามารถปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตและประสิทธิภาพของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ และลดต้นทุนการผลิตได้ อย่างไรก็ตาม ประเด็นด้านสิ่งแวดล้อมและความปลอดภัยยังต้องได้รับความสนใจอย่างเพียงพอด้วย ในอนาคต ด้วยการพัฒนาอย่างต่อเนื่องของเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์และการตระหนักรู้ที่เพิ่มขึ้นเกี่ยวกับการปกป้องสิ่งแวดล้อม การแนะนำตัวทำละลายและสารเติมแต่งใหม่ๆ เช่น โพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์ จะส่งเสริมการอัปเกรดและความก้าวหน้าของเทคโนโลยีโฟโตรีซิสต์ โดยนำนวัตกรรมและโอกาสในการพัฒนามากขึ้นมาสู่สาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ในเวลาเดียวกัน ยังจำเป็นต้องเสริมสร้างการวิจัยและการกำกับดูแลเกี่ยวกับการคุ้มครองสิ่งแวดล้อมและความปลอดภัย เพื่อให้มั่นใจในการพัฒนาที่ยั่งยืนของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และความปลอดภัยของบุคลากรและสิ่งแวดล้อม
คำถามที่พบบ่อย
เมทอกซีโพรพานอลใช้ทำอะไร?
+
-
Methoxy propanol ส่วนใหญ่ใช้ในการผลิตโพรพิลีนไกลคอลเมทิลอีเทอร์อะซิเตต (หรือที่เรียกว่า PMA) และยังใช้ในผลิตภัณฑ์อุตสาหกรรมและเชิงพาณิชย์ เช่น สี วาร์นิช หมึก เรซินสังเคราะห์ กาวยาง ตลอดจนน้ำยาทำความสะอาดยานยนต์และเตาอบ
เมทอกซีโพรพานอลเป็นพิษหรือไม่?
+
-
1-Methoxy-2-propanol เป็นพิษเล็กน้อย ความเป็นพิษต่ำกว่าเมทิล เอทิล และบิวทิลอีเทอร์ของเอทิลีนไกลคอล อาการพิษจากการสูดดมความเข้มข้นสูง ได้แก่ คลื่นไส้ อาเจียน และฤทธิ์ชาโดยทั่วไป ในมนุษย์ อาจรู้สึกได้ถึงผลกระทบที่เป็นพิษเมื่อสัมผัสถึงระดับ 3,000–4,000 ppm
เมทอกซีไอโซโพรพานอล ใช้ทำอะไร?
+
-
การใช้งานเบื้องต้นของ Methoxyisopropanol คือในสี- ชื่ออื่น ๆ สำหรับ Methoxyisopropanol ได้แก่ 1-methoxy-2-hydroxypropane, 1-methoxy-2-propanol และ Propylene Glycol Monomethyl Ether (PGME)
เมทอกซีโพรเพนใช้ทำอะไร?
+
-
วางตลาดภายใต้ชื่อทางการค้า Metopryl และ Neothyl ใช้ methoxypropaneเป็นทางเลือกแทนไดเอทิลอีเทอร์เพราะมีพลังที่มากกว่า การใช้เป็นยาชาจึงถูกแทนที่ด้วยอีเทอร์ฮาโลเจนสมัยใหม่ซึ่งมีความไวไฟน้อยกว่ามาก
เมทอกซีฟีนอลใช้ทำอะไร?
+
-
มีการใช้เมทอกซีฟีนอลในการผลิตสารต้านอนุมูลอิสระและยา. 2- เมทอกซีฟีนอลใช้เป็นยาขับเสมหะและเป็นสารแต่งกลิ่นสังเคราะห์
โพรพานอลเป็นอันตรายต่อมนุษย์หรือไม่?
+
-
อย่างไรก็ตาม,มีรายงานกรณีพิษร้ายแรงจาก 1-โพรพานอลเพียงกรณีเดียวเท่านั้น- ผลกระทบเฉียบพลันที่เป็นไปได้มากที่สุดของ 1-โพรพานอลในมนุษย์คืออาการมึนเมาจากแอลกอฮอล์และการง่วงซึม ผลการศึกษาในสัตว์ทดลองระบุว่า 1-โพรพานอลมีความเป็นพิษ 2 - 4 เท่า เท่ากับเอทานอล. 1-โพรพานอลอาจระคายเคืองต่อผิวหนังที่มีน้ำมากเกินไป
ผลข้างเคียงของ Methoxyisopropanol มีอะไรบ้าง
+
-
อาจทำให้เกิดอาการง่วงนอนหรือเวียนศีรษะได้ H226 ของเหลวและไอไวไฟ H336 อาจทำให้เกิดอาการง่วงซึมหรือเวียนศีรษะ. P210 เก็บให้ห่างจากความร้อน พื้นผิวที่ร้อน ประกายไฟ เปลวไฟ และแหล่งกำเนิดประกายไฟอื่น ๆ
ป้ายกำกับยอดนิยม: เมทอกซีโพรพานอล cas 107-98-2, ซัพพลายเออร์, ผู้ผลิต, โรงงาน, ขายส่ง, ซื้อ, ราคา, จำนวนมาก, ขาย